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GCM系列智能多通道气体控制模块是一款可同时控制多种气体的进料模块,其集成了气体控制、超压/泄压保护等安全功能,最多可支持38种不同气体的在线实时高精度控制。
产品概述:
FGCM系列智能多通道气体控制模块是基于FCM高精度气体质量流量控制器研发的一款可同时控制多种气体的进料模块,其集成了气体控制、超压/泄压保护等安全功能,最多可支持38种不同气体的在线实时高精度控制。
FGCM可连接于任何的连续流反应工艺系统,以实现将不同的气体精确的加入化学反应系统中。
FGCM其可靠的设计不仅可以应用于连续流反应系统的气体进料,还可以应用于半导体、制药、环境研究和其它气体应用之间的无缝切换。
产品应用:
可广泛应用于半导体、制药化工、环境研究等行业中对气体的高精度控制。
产品优势:
w 多种气体同时控制:最多可同时控制8路不同种类的气体;
w 高精度:可达±0.5% FS,响应速度快、调节速度快;
w 超高稳定性:重复精度可达0.2% FS;
w 操作简便快捷:采用一体式高灵敏触摸屏,可设置气体种类、通道数量、流速等,简单方便;
w 适用范围广:各种低压和高压管道;
w 多级安全防护:超压报警、泄漏报警、自动泄压;
w 定制化:模块化设计的结构可轻松实现定制化服务;
主要技术性能:
w 通道数量:3-5通道(最多可扩展至8通道);
w 控制精度:±0.5% FS;
w 最高耐压:3MPa / 10MPa可选;
w 控制软件:Insflow控制系统,7英寸高灵敏触摸屏,操作方便快捷;
w 外形尺寸:310*520*150mm;
w 电源要求:220V / 50Hz;
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